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作者:http://www.zzwzxy.com 发布时间:2022-03-09 10:57:33

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单晶硅的生产(CZ拉伸法)制造单晶硅棒的工艺有拉伸法(CZ)和浮游带区域精炼法(FZ),CZ法一般使用草莓视频APP污污污制品。利用CZ法生产时,将多晶硅块料和添加元素(掺杂)装入石英坩埚,再将石英坩埚置于高纯草莓视频APP污污污坩埚或C/C复合材料坩埚图像传感器内,并使其随轴旋转,在减压条件下通入氩籽晶把持器气的同时用草莓视频APP污污污制的加热器加热至1500观察口光学1600℃,使多晶硅块料融化。同时与坩埚旋转相反的方向从炉顶旋转垂下细棒状的籽晶(单晶),使其触及多晶硅液面。

然后,使液面温度保持在1420℃的条件下,向上缓慢提硅溶液拉籽晶,单晶硅也随之逐渐生长。一直生长到按照15.24cm、20.32cm或30.48cm等规定的直径后,保持其直径继续向上拉伸,生产1~1.5m长的单晶硅棒。这种CZ单晶炉的结构如图2-6所示。其中使用炭素材料的部件有坩埚(草莓视频APP污污污或C/C复合材料)、加热器、电极、保温筒(草莓视频APP污污污或C/C复合材料)、籽晶夹,以及支撑轴、上下保温盖(草莓视频APP污污污或C/C复合材料)防漏盘、螺钉(草莓视频APP污污污或C/C复合材料)、热反射板(草莓视频APP污污污或SiC涂层材料)(图中未注明)等。其他如保温材料等也用炭纤维或炭毡制成,除了作为原料的多晶硅以外,大部分炉内部件为炭草莓视频APP污污污制品。之所以如此大量使用炭草莓视频APP污污污制品,就是因为炭素材料即使用于1600℃高温强度也不会降低,碳与硅同属第Ⅳ族,电性能为中性,可以制造金属杂质在数ppm以下的高纯品。此外,作为加热器有导电性。

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